这个反馈频率可能达到毫秒级,但它修正的是化学环境,不是直接修正光学焦距。”
梁孟松用手指指了指仿佛存在办公室空气中的cg-1光刻机:“但现在我们面对的是什么?是cg-1的超构透镜。
这套系统对温度和振动的敏感度极高,一个微小的气流变化,都会在微秒级的时间内导致几纳米到几十纳米的焦点漂移。
我们的动态补偿系统,必须在微秒级内完成:数据采集到预测模型计算再到微致动器物理移动的全过程。
这要求致动器本身具有超低延迟、超高精度的响应能力。
传统半导体设备上的致动器,根本达不到这个速度和精度要求。
这其中不仅仅需要算法上的革新,同样需要设备层面的革新。”
梁孟松语速很快,话题跳跃的同样很快,聪明人之间的交流就是要更轻松。
梁孟松最后的话语带着强烈的工程警告意味:“cg-1的超构透镜的物理特性,意味着它的补偿路径,比传统光刻机更复杂、更非线性。
这套系统是人类在duv上的极限尝试,它的不稳定性是内生性的,而不是简单的外在干扰。
我们等于是要制造一个能预知自己‘失衡’,并在失衡发生前就完成‘平衡’的超级复杂系统!”
他看向林燃,总结道:“林总,从难度上来说,这件事的难度甚至要比我们过去从零开始eda软件还要难得多。
这个鸿沟,远远不是cmp或刻蚀那种级别的动态修正可以相比的。”
林燃点了点头:“当然,我当然知道,你知道的,我同样知道。
想要独立于整个西方世界做出一整套的半导体生产制造体系,这本身就是在做一件不可能完成的事情。
这当然很难,可问题是,这是我们现在能迅速达到5nm最可能的路径。
从五十年代到现在,我们一路都是这样走过来的。”
林燃的话充斥着巨大的自信,难又怎么了?干就完事了。
他最后总结道:“算法上的问题交给我解决,无论多难的模型,我一定会给你找到那个合适的解,工程上的问题交给你,你需要做的就是整合国内现有的资源,国外能买到的资源,从工程上去实现它。”
梁孟松站起身,伸出手,在握手的时候,他只说了一个字:“好。”
这位所谓台积电的叛将,将给台积电带来真正意义上的致命一击。
,和往常不同,今天这里是林燃亲自开直播。
林燃坐在自己的办公室,身后就是一面白墙,什么书都没放。
办公桌上倒是略显凌乱,各种文件摆在一起。
林燃坐在镜头前,身穿一件灰色羊绒毛衣,能看出来质感很好。
“今天是新年第一天,也就是元旦,老规矩,我只负责闲聊和解答,真正的发射由我们的宇航员和地面控制中心完成。
我现在已经飞文昌越来越少了。
大家应该都从我们的官方公告也好,又或者是新闻媒体的报道也好,大家应该知道我们的月球电磁轨道。