第671章 第二步:覆海!破晓 A220 EUV光刻机

光路末端的探测器疯狂刷新着数据,屏幕上跳出一行行代表“曝光能量密度”、“线宽均匀度”、“图形套刻精度”的数值。

每一个数字都在朝着合格的方向靠近!

0.5秒的时间,却像一个世纪那么漫长。

当曝光完成的提示音在控制室内响起时,汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出,送往检测室。

一行人都跟了过去,连脚步都变得急促起来。

在精密的euv掩模版检测仪下,当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时,现场彻底沸腾了。

线条细如蛛丝,却没有一丝断裂或模糊,每一个晶体管的轮廓都精准得如同复刻。

光刻机的运行原理就像印刷机,又像照相机,只不过它所运用的‘画笔’和‘画板’都更为精细。

“成了!真的成了!”

汪象朝喃喃低语,双手在发抖,嘴里发出‘呵呵呵’的笑声,压抑中带着亢奋。

不一会儿,笑声变得呜咽。

他今年五十九岁,在euv光源领域已经摸爬滚打了大半辈子。

曾经的他,眼看着自己的人生快要走到尽头,连euv光源的技术突破也渐渐看不到希望,心里满是无力。

可谁曾想,星源科技会在这时横空出世,不仅打破了僵局,更给华国自主研发光刻机带来了全新的希望。

如今造出了euv光刻机和烛龙 g ,总算不用再看别人脸色了!

汪象朝抹了把脸,想把激动的泪水憋回去,可嘴角却控制不住地往上扬,最后索性也不掩饰,任由泪水顺着脸颊往下淌。

这眼泪里,有大半辈子的遗憾,更有苦尽甘来的畅快。

林南见状,拍了拍他的肩膀,温言劝慰道:“汪工,咱们没白等,也没白干!”

站在人群里的梁劲松一脸唏嘘,他暗暗打量着陈延森,默默给出评价:妖怪级别的天才!

要知道,世界上大部分的技术突破,都需要一代人、甚至是几代人的积累,可陈延森硬是在二线的技术栈上,拿出了行业顶尖的方案。

、分辨率小于 、0. ,绝对可以支持 。

陈延森微微一笑,这台euv光刻机便是他的新筹码。

毕竟森联资本涉足的行业越广,树敌就越多,若是拿不出像样的压箱底本事,又如何能获得上面的全力支持?

另外,一台光刻机的售价高达 。

而且陈延森还能借此培养一批生产、安装、养护和维修的工作人员,进而获得更多的人道薪火。

不过,alpha样机仅适用于内部测试,并不具备实际流片测试的条件,后续还得推出beta样机,即产品发布前由外部用户进行测试的设备。

好在星源科技有自己的生产线,只需经过反复调试、修改、迭代,就能逐步推进,最终制造出符合要求的成品光刻机。

“陈老师,给它取个名字吧!”

章延杰提议道。

“黑暗已逝,破晓乍现!就叫破晓 a 。”

陈延森想了想说道。

a代表星源科技光刻机的第一条序列, 。

与此同时。

李青松在收到消息后,立马拿起文件,急匆匆地朝着南海旁的一座庭院赶去。

(本章完)

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