而摩擦前馈则是，既然知道机器运行时零件间会产生摩擦，类似车胎与地面之间有阻力，那就预先计算出克服这份摩擦所需的额外作用力，进而保障机器动作的精准度。
其次，使用pid加lqr的混合控制方式。
换而言之，即实时修正，盯着目标调整。
好比开车时盯着仪表盘，发现速度快了就松油门，慢了就踩一点，随时修正偏差。
pid是工业控制中最常用的一种控制算法，说白了就是一套“根据误差来调整行动”的规则，能让设备的运行状态稳定在目标值上。
lqr即线性二次调节器，是一种更为智能的自动控制算法。
以机械臂精准停到指定位置为例，普通控制方式只能通过紧盯“当前位置与目标位置的偏差”来进行调整。
而lqr能够同时考量多个因素，比如当前位置偏离了多少、移动速度是否合适、电机输出的力矩大小、零件是否会因受力过大产生晃动等。
一旦将这项技术突破到纳米级别，它不仅能用于掩膜台的制造，还能应用于机器人运动控制以及卫星姿态调整等场景。
最后是扰动补偿技术，它通过扩展卡尔曼滤波器估算外部扰动的数值，并实时进行抵消。
就像开车时突然刮来一阵风，方向盘会抖一下，司机要立刻微调稳住方向。
扩展卡尔曼滤波器就如同一个“敏感传感器+高效计算器”的组合，能快速察觉到外界的突发干扰，然后立刻算出力量补偿，从而抵消这些干扰的影响，确保精度不受影响。
当这三种方式配合使用，整套控制逻辑就像一位擅长预判、精通精细调节且抗干扰能力出色的超级司机，既能让机器动作又快又准，还能面对各种小干扰，将精度稳定控制在纳米级别。
实际上，国内的一众高校和科研院所，如哈工大、清华、华科自动化研究所等，在pid、lqr、卡尔曼滤波等经典控制算法上已有深入研究，并发表了大量相关论文。
当前算法大多仅完成了仿真或小范围实验，还没有在高精度运动平台上经历过应用层面的验证。
理论模型与实际机械非线性之间的匹配经验存在严重欠缺！
并且就摩擦、间隙的补偿而言，目前只能做到微米级。
制约该项技术实现极速突破的主要原因在于，精密轴承、气浮组件、高稳定性电源等关键配套产品的国产化率过低，且性能与国外产品存在较大差距，这使得在进行系统集成时，极难跨越精度瓶颈。
