第3666章 萧扬明的劝说

而且这个一代神机直到二十年以后赵长安穿越过来的时候,在长达三十多年的时间里,虽然PAS5500早已停止生产,可经过ASML卖出去的PAS5500依然有超过90%的光刻机在投入使用,用于制造线宽微缩要求不高细分类半导体芯片。

之后数年,随着ASML不断的对PAS5500进行技术改良和升级,引入更高分辨率的i-line、氟化氪(KrF)和氟化氩(ArF)系统,老东家飞利浦也是赚钱赚的合不拢嘴。

在97年的时候,由飞利浦的牵线,以及欧美半导体产业迫切想要摆脱东洋半导体产业的依赖,老美也盯上了ASML这块肥肉,随着众多企业投资加入,以及成功的在阿姆斯特丹和哥谭市证券交易所上市,ASML开始研究极紫外线,到了99年ASML极紫外线光刻机研发联盟成立,第二年财大气粗的ASML收购了美国光刻机制造商硅谷集团(SVG),在原来的拳头产品PAS5500之外,进入更细微的193纳米领域。

在去年年底的全球SPIE微光刻会议上,由于Nikon和Canon的强势,157nm深紫外激光波(DUV)步进式光刻机的研发主流方向,依然是处于纯氮气中的技术改良。

而没有提倡尝试157nm深紫外激光波,在液体浸没状态下的浸没式光刻技术。

从会议之后到现在,整个ASML的研发部门,依然是各种争吵中,对于157nm浸没式研发是否开始,有着极大的分歧。

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