ASML成立于84年，最初名为 ASM Lithography，由飞利浦和芯片制造商Advanced合资，总部在荷兰埃因霍温下面的一个卫星城费尔德霍芬，办公地点在飞利浦总部后院里面一排下雨天漏雨的样板房。
整个埃因霍温也就24万人口，不过却拥有整个荷兰46%的专利技术，因为ASML这个强大的存在，在将来更是被福布斯杂志赞誉为‘全世界最具创新精神的城市，世界级的创意硅谷。’
这里也是飞利浦的诞生地（1891年），飞利浦八十年代末大量砍掉业务范围的时候，先后推出了PAS2000，PAS2500步进机（一种将电脉冲转化为角位移的执行机构，当步进驱动器接收到一个脉冲信号，它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度）的ASM Lithography，因为名不经传市场不买账，Advanced因为ASM Lithography长期亏损选择退出。
飞利浦独资以后把ASM Lithography划归出去，88年更名，把ASM Lithography缩写成ASML，随即飞利浦总部迁往阿姆斯特丹，对于ASML已经不再投资，任其自生自灭。
ASML趁着飞利浦留下的大量空房子，才有了自己真正像一点样子的办公和研发场所，然后用了一年时间，背水一战似的推出了PAS5500光刻步进机，采用i-line光源，初始分辨率为0.35微米（350纳米）。
随着第一部PAS5500被IBM购买，用于System/390服务器的芯片制造，在ystem/390热卖以及证明了PAS5500的稳定性，以及有着低成本，小尺寸，简单易用等特点以后，来自全世界各地大量的订单开始把ASML淹没。
