在照射到高速旋转的光源靶盘上后，雷射在每一个点上瞬间激发耦合态。
辐射出稳定的极紫外光。
「各项数据怎幺样？」
贺鹏涛最先反应过来，立刻望向坐在屏幕前的潘耀大声询问具体数据，想知道最终结果究竟如何。
虽说包括徐铭在内的其他人，没有再开口，但大家的目光无一例外，都集中在了潘耀的身上，因为过度紧张甚至有人都快要屏住呼吸。
约摸过去了将近两分钟时间，潘耀的声音终于在实验室内响起。
能够听出其中夹杂着明显的激动情绪。
「有结果了。」
「雷射在光源靶盘上，成功激发出等离激元耦合态。」
「辐射出的光源波长为13.5纳米。」
「输出光源稳定在50瓦，转化效率突破15%。」
几乎是潘耀话音落下的瞬间，整个实验室内顿时爆发出雷鸣般的热烈鼓掌声，每个人脸上都肉眼可见的浮现出发自内心的喜悦。
「成功了。」
「我们掌握了稳定的极紫外光源，这是国产高端光刻机研发的一大步。」
「徐总师的设想是正确的。」
「很难想像首次实验，转化效率就达到了15%，这可比海外主流的极紫外光源技术高效许多。」
「简直是在做梦。」
凡是抽调进光刻机专项研究组的成员，都属于两个光机所内的优秀科研人员，对极紫外光源的好处无比清楚。
但就是这样决定着高端光刻机工艺的光源，在几个月前对国内方面来说，还是可望而不可及的遥远存在，只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。
可此刻在微电子装备总部实验室内，却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。
毫不夸张的讲，这项成果无论放在哪里，都是地震。
足以让全世界感到吃惊。
待众人的情绪逐渐平复下来，贺鹏涛依旧查看着屏幕中反馈的数据，随后恋恋不舍收回目光，才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。
「太让人惊喜了，采用新理论得到的极紫外光，已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。」
「解决高端光刻机的核心光源系统，接下来我们的国产光刻机研发，肯定会迎来一段飞速发展的阶段。」
「我提议应该立刻向外界宣布此消息，让海外知道华国有能力研发高端光刻机。」
对此旁边的丁顺安也没保持沉默，闻言虽不愿意破坏眼下的气氛，但最终嘴唇微动还是跟在后面补充了句。
「可惜输出的极紫外光，只稳定在50瓦，距离商用所需的250瓦还有差距，不过毕竟是首次进行验证实验，这个结果已经远远超出预计了。
徐铭对此次验证的成功并不意外，就连丁顺安口中的功率问题也在预料之内。
主要今天的实验，核心挑战是新理论方法，是否能稳定输出极紫外光，事实证明他的设想是非常成功的，要确定了这件事之后才能解决功率问题。
于是还没等丁顺安的遗憾情绪停留多久，他当即主动开口回应上一句，并未在这个时候还故意去卖关子。
「关于光源的功率问题，可以通过将光源靶盘设计成多环结构，让多路雷射同时激发来提升，应该能够满足商用的250瓦功率。」
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