国产光刻机专项重点项目,可以说能促成且进展的如此顺利,很大程度上正是依靠徐铭提出的,全新获得稳定高效极紫外光源的方法。
这为国产高端光刻机的研发,带来了希望。
如果最终实验验证失败,或者数据不理想,那幺对国内所有人来说,无疑是从头浇了盆冷水。
不但会影响后续的研发工作,更难保证眼下这时候大家聚起来的心气。
尤其还会让海外方面,更加猖狂有底气。
可以说在眼下这种局面中,迫切需要一个好消息,来扭转局势振奋人心。
所以这也就使得今天的实验,绝对不能失败。
「所有装置已经检查完毕,符合实验的条件,我们随时可以开始。」
上午九时许。
总部大楼实验室内,全副武装的贺鹏涛,看向那台搭建了一段时间的毫米级演示装置,待完成相应的工作后立刻对总设计师进行报告。
虽然他早就入选科学院院士,但这次为了实验验证的顺利进行,果断选择亲自动手参与实验。
尽可能保证不出差错。
同样有此操作的丁顺安院士,则正站在徐铭身旁。
「开始吧。」
徐铭对于这种重要场面,可以说早就司空见惯,闻言仅点头吐出几个字,脸上的表情始终保持镇定,浑身散发出胸有成竹的自信。
使得周围人安心不少。
贺鹏涛接到指令,转过身看向身后的潘耀,让其进行下一步操作。
「小潘,安装光源靶盘,」
「是老师。」潘耀掷地有声回答。
随即在实验系统控制室内几人的注视下,硅基光源靶盘安装到在演示装置上,终于为其拼上了最后一块拼图。
「好多年没有像现在这幺紧张了,希望实验的结果不会辜负大家的期望。」这时丁顺安还是忍不住开口,在深吸了一口气后才算让情绪稳定下来。
之前微电子装备研发90纳米工艺光刻机时,都未曾像今天这幺紧张过。
不知是海外那份文件给国内带来的压力,还是徐铭这几个月以来,所展现出来的实力太过让人震惊意外。
只能说在拉高了预期目标之后,越是容易患得患失。
生怕会出现不好的结果。
徐铭听到丁顺安院士的话,顺势扭过头,脸上堆着淡淡的笑容接过话补充。
「放心吧丁院,我们前期已经准备的足够多,相信实验验证绝不会让大家失望。」
「说的没错,是我心态不稳了。」丁顺安点点头当即笑着附和句。
尽管他这个身份和年龄,竟还不如徐铭沉得住气,但心里面却没丝毫不适,毕竟以徐铭的水平,很难会去把他当做三十不到的年轻人。
哪怕年龄确实如此。
就这样。
很快伴随着验证实验正式开始,在众人的观察和各种监测仪器设备的记录下,只见从雷射设备中,发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射。