所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。
当然。
即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。
很多设计和结构上。
江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。
不过虽说精度下降。
但至少,能先解决有没有的问题。
在江阳的指挥下。
一项项步骤。
有条不紊地进行着。
他身边的王寿吾、林岚因和黄坤等人。
都紧张得手心冒汗。
这种情况,一直持续到完成最后的测试。
负责组装的王志坚。
整理数据后。
走到江阳的面前,正声道:「江教授,成功了!」
听到这个消息。
所有人的脸上,终于浮现出笑容。
王寿吾狠狠地挥了挥拳头。
一旁的王大严。
则是朝着江阳竖起一个大拇指,道:「不愧是江教授啊!」
他说完后。
王寿吾等人也反应过来,纷纷开口道:「没错,多亏江教授,才能研制出近接式光刻机!」
「有了它,老大哥和M帝,恐怕都要被我们狠狠甩在身后!」
「不是恐怕,是一定,他们的光刻机,恐怕连我们先前的都比不上!」
每个人的眼中。
都满是兴奋。
但江阳反倒很平静,问道:「测试的数据怎幺样?」
王志坚道:「光强波动≤±5%、清晰成像2μm线宽————」
他不断地。
念出各项数据。
每说出一个,大家脸上的笑容,都更深一分。
江阳听完后,道:「雷射干涉仪刚成功,工作台运动精度,还有提高空间。
「使用的光刻胶。」
「目前也只是勉强满足需求,显影后测量残留胶————」
他说着说着。
忽然感觉周围非常安静。
擡头看去。
只见每个人,都拿出纸笔,开始记录。
见状。
江阳怔了怔,转而道:「但这些都可以慢慢去突破。」
「我们现在。」