「汤教授,您请继续。」
闻言,汤定远道:
「江教授为我们介绍过光刻胶的作用。」
「它直接决定。」
「集成电路的最小特征尺寸、良率和工艺复杂度—」
他说完后。
迟疑了片刻。
接下来的话,等于是在反对江阳提出的方案。
这时,江阳笑道:
「汤教授,如果您有更好的方法,但说无妨。」
汤定远点了点头,道:
「那我就直说了。」
「根据我的研究,使用天然沥青+溶剂,解析度极低。」
「最后很大概率无法满足我们的研制需要—」
沥青胶是负性光刻。
紫外线引发交联反应,形成三维网格结构后。
曝光区域变得难溶于溶剂,且会被溶剂渗透,引发溶胀。
虽说面前也能实现光刻。
但结果几乎是可以预见的不如人意。
汤定远说完后,又道:
「原本我也不觉得有问题。」
「毕竟光刻对我们所有人来说,都是个新东西。」
「但江教授的一句话,给了我启发。」
「如果让曝光区域发生光解反应,效果会不会更好——」
听完汤定远的想法后,众人陷入沉思。
江阳面色不变。
心中却惊讶不已,暗道:
「不愧其中,能一句话中想出这幺多的东西。」
汤定远,华国半导体学科创始人之一。
还是红外技术研究的奠基人。
曾以三份书信,重塑华国红外事业的战略眼光,研究能力毋庸置疑。
这时。
下面一个和汤定远差不多年纪的中年男人,道:
「汤教授,您说得确实有道理。」