第1620章 从40nm到27nm的跨越

听到“简化”两个字,栾文杰才意识到自己把目标给搞反了。

好在还没把脸给丢出去,所以又故作沉着地踱步到更小的那个模组旁边,微微俯身,似乎想从眼前繁复的结构中找出些许相似之处。

只是理所当然地失败了。

“传统的折反式物镜组内部包含超过三十片精密镜片,用于校正像差、色差,并尽可能提升数值孔径……不仅结构复杂,体积和重量很大,而且其中的反射元件对于加工精度的要求非常苛刻。”

张汝宁进一步介绍道:

“而在更新的 ,独立光学元件的数量缩减到 ……”

“……”

就在这时,一直坐在控制电脑前的何修军突然站了起来。

“张组长,最新一组测试数据已经处理完成!”

他走到张汝宁同时也是走到栾文杰身边,汇报道:

“ (na)实测最大值为1. . ±0. ±0. . ……”

“全视场振幅极化量rms(均方根值)实测最大11.85%,最小11.80%……”

“全视场相位延迟量rms实测最大3. . ……”

实际上,这里面的多数参数都是之前就已经测完的,而且往常也不需要他专门汇报一遍。

报告导出来,大家分别翻阅就行了。

但此刻面对亲临一线的栾文杰,这份详尽到几乎冗余的数据汇报,就显得格外“恰到好处”且分量十足。

“等等。”

果然,栾文杰打断了后续的参数报告。

他既然是专程来考察光刻机,那对于这些基本参数自然有所了解。

虽然被一大堆突然涌入的数据搞得有些头脑发胀,但还是敏锐地捕捉到了其中最关键的部分。

na值,1.80!

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