第182章 单晶到底怎么造(3k)

高振东笑着道:“不止我们现在正在做的直拉法和区熔法,做硅单晶的办法还有很多,比如基座法、片状单晶生长、气相生长、铸锭法、液相外延等等。”

听见高振东这个话,俞允成这个在当前已经算是硅单晶制作的专业人士嘴巴张大了,高主任说的这些,相当一部分根本没听说过,就这一句话,就够他琢磨好些年的了。

“有这么多方法?”他样子有点傻呆呆的。

高振东点点头:“没错,不过这些方法都有这样那样的问题,总的来说,电子技术上用的半导体材料,在我看来,相当一段时间内最合适的还就是正在搞的直拉法和伱说的区熔法。”

实际上哪怕到了几十年后,半导体用硅单晶的生产方法还是以这两个为主,其中直拉法占了75%左右的产量。

听见高振东肯定了自己的想法,俞允成心里很有几分窃喜。

然后高振东就告诉了他为什么一开始不做区熔法:“但是从这两个方法来看,适应范围最广、晶体直径最容易做大、技术更简单的,是直拉法。”

俞允成对于区熔法有所了解,但是对于区熔法的原理和具体实现方法是不了解的,大概就处于闻名但是但未见面的程度。

“高主任,区熔法具体一点是个什么回事呢?”

高振东干脆把区熔法的原理向俞允成介绍了一遍。

简单来说,直拉法是把硅在锅里烧化,然后往上拉晶。

区熔法则是把硅棒吊起来,把下端烧化,然后往下拉晶。

俞允成听见了有些惊讶:“啊,这样啊,好像是比较难控制。”

不愧是搞这个的,一听就明白,高振东笑道:“对,这个方法熔化的硅液主要靠表面张力维持不掉落,所以直径想做大,比直拉法要困难,同时整个拉晶过程的可控性差,容易导致晶体结构缺陷。”

俞允成明白了:“嗯,看来选择技术路线不能光靠单一指标,还是要综合考虑的。”

高振东笑道:“说对了,对于现在来说,直拉法的缺陷是可以通过设计手段来弥补或者削弱的,比如增加石英内坩埚。而它的好处却是实实在在的,我们不是搞理论研究,理论研究可以只盯着高处,我们搞的是应用研究,还是要看看周围。”

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