为了说服EUV-LLC联盟里面的那些政客们，道格·邓恩废了不少的口舌，他当然明白这些人打的小算盘，就是牺牲ASML，作为对Nikon和Canon的一种制衡。
然而在道格·邓恩看来，他从来都没有把制衡Nikon和Canon作为自己的目标，而是要超越他们。
而现在最恰当的，甚至是唯一的路，就是DUVArFi。
ArF是指使用气体介质，干式的193nm，i是指使用水或者别的液体作为介质。
一个‘i’的不同，表示着两种截然不同的研发方向。
好在英特尔这些投资的企业不傻，没有附和那些政客们的意见，毕竟这些政客们只是动动嘴，而这些企业需要真金白银的拿出钱。
然而在基本上确定了研发方向以后，一个更加棘手的新的问题又出现了。
就是谁拿钱，拿多少钱？
这些m国佬一番吵吵，最终只愿意先拿出来两亿美元，要求ASML用这两亿美元制造出一台样机，然后对这台样机进行评估以后，再决定下一步是否投钱。
这个意见，让整个ASML对这几个企业都是想唾他们一脸，要是这些不要脸的企业还有脸的话。
