甚至下意识念出声来。
「辐射出的光源波长，依旧为13.5纳米，属于极紫外光波段。」
「输出光源稳定在80瓦————」
「120瓦————
，「200瓦——
「250瓦，我们验证成功了！」
随着期望的数字终于出现，在声音落下瞬间，制室内顿时爆发出热烈的掌声，庆祝这一里程碑式重要时刻。
「我早就说过，徐总师的方案没问题。」贺鹏涛待大家的掌声落下，擡手轻擦了下湿润的眼角，毫不掩饰堆在脸上的喜悦之情。
旁边的丁顺安，同样内心激动不已。
视线依旧锁定在那台毫米级演示装置上，心情复杂连连感慨。
「从我国开始重点研究光刻机，到现在多少年了，总算实现了可商用的，足以领先世界的核心光源系统，我这辈子没啥遗憾喽。」
「才只是成功验证了核心光源系统，你就没遗憾了，起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。」贺鹏涛笑着接过话茬，跟在丁顺安后面补充了两句。
丁顺安附和道：「有徐总师在，这是迟早的事。」
说完两人转头看向徐铭。
「徐总师，请允许我代表所有光机所人员，由衷向你表示感谢。」贺鹏涛最先开口道：「没有你的物理理论，我们根本不可能这幺快，便攻克稳定功率的极紫外光源。」
「仅这一项理论成果，就起码让咱们少走了几年，甚至十几年的弯路。」丁顺安也没沉默。
面对两位院士的如此称赞，徐铭反应更快，连忙出声回应。
「两位院士言重了，既然这个担子交给我，那我自然会尽最大努力做好。」
「何况后面还有更重要的工作，需要我们大家完成。」
把热烈氛围推向高峰。
接下来的时间，实验室交给了潘耀负责。
继续进行光源实验，好记录更加详细的数据，用于之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。
徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士，来到办公室安排后续工作。
「下一步我们微电子装备，就会正式把新的极紫外光源技术，应用到光刻机的核心光源系统上，另外双工件台控制系统和计量检测系统，也都在同步的攻坚中，这些年集团的研究可不是一点成果没有。」
办公室内丁顺安首先发言，在讲到最后一句时，能感受到话语中的自信。
春城光机所擅长光刻机的核心光源系统，微电子装备却是主攻其他部件技术O
尤其作为国产光刻机主力研发团队，肯定在部分领域也有着独到之处，甚至并不落后海外技术多少。
如今最困难的极紫外光源被顺利解决，就好比在两截道路中间的大山中，打通了一条可通行的隧道，当车辆全速行驶起来，距离终点站又岂会远。
贺鹏涛虽来自春城光机所，但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。
尤其现在还进行了资源整合。
闻言也当即讲出自己的看法和决心。
「眼下我们有了极紫外光源，并且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术，根据国内技术整体评估，我看最多两年时间，就能成功组装出首台国产极紫外光刻机。」
「阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机，恐怕也会在两三年时间内发布。」丁顺安想到什幺接过话茬补充。
贺鹏涛笑呵呵回复句。
「那就刚好比一比，看看谁的极紫外光刻机，综合性能更加领先。」
徐铭听完两人的对话，嘴角也不由得微微上扬，对阿斯麦公司的光刻机，还真涌现出些许期待。
他也想看看，采用了全新物理现象理论，研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。
估摸着拿下阿斯麦在行业中的地位，恐怕不会太难。
思维思忖至此，他很快轻微摇了下头，暂时把这件事抛在脑后，主动提起接下来的正事。
「后续极紫外光刻机的研发，就还拜托贺院和丁院来坐镇负责了，如果遇到什幺技术瓶颈的话，随时通知我参加研讨会商议解决方案。」
「等璇玑系统的开发稳定后，我会多关注这边的。」
目前全新随机几何分析框架的构建，正值最后的关键几个证明步骤。
等完成此理论，便能正式着手开发新的算法。
在这种情况下，他肯定不能逗留在微电子装备，今天下午就要赶回燕京继续推导。
主要璇玑系统和光刻机，都是高端晶片制造产业链中的重要环节，只不过一个属于前端一个属于后端。
想实现百分之百国产化升级，就必须把璇玑系统和国产极紫外光刻机，同时研发出来才行，否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。
无论贺鹏涛还是丁顺安，他们自然都清楚，璇玑系统的重要性。
不过在听完徐铭这番话之后，互相对视一眼，依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。
本以为徐铭选择把精力放在新一代EDA上，只是藉助总设计师的身份，好让国内EDA公司更好整合技术，加快全新一代极紫外光EDA工具算法问世。
