继50瓦稳定极紫外光源验证成功后,立刻马不停蹄开始规划后续的任务安排,最大程度缩短研发周期。
而面对晚上海外最新放出的公告,自然要在会议上进行详细说明讨论。
「看来这次咱们在短短几个月,成功掌握稳定功率的极紫外光源,确实把海外方面给刺痛了,否则也不会一下子搞出这幺多针对我们的操作。」
会议上丁顺安率先开口,说话时整个房间,全是他那爽朗开心的声音。
话音才刚落下,对面的贺鹏涛便忍不住接话附和。
「其实昨天新出的几项公告,对我们并无影响,毕竟既然要实现产业链的国产化,那肯定一步到位直接百分百。」
「就算没有这些乱七八糟的东西,国产EDA和光刻胶咱们也会进行开发研究。」
在他们眼中,海外的昨天晚上的操作,更像是对极紫外光源研究成果的认可。
属于一种荣誉勋章。
说明确实是非常重要的研究成果。
否则海外的反应,也不会如此迅速如此大。
伴随着两位院士依次发表完意见,成功给今天会议定下了氛围基调,能够看到现场每个人脸上,听完后所浮现出来的淡淡笑容。
这时坐在老师右手旁的潘耀,同样没有保持沉默。
缓缓擡起视线看向坐在主座的徐铭,把话题引到这位年轻的总设计师身上。
「多亏了徐总师,带领我们拿下极紫外光源,否则纵使再有两年时间,恐怕也解决不了光刻机的核心光源系统。」
「今早我看网上大家的评论,几乎全在支持徐总师。」
全程暂时充当听客的徐铭,看到潘耀主动聊自己,忙摆了摆手谦逊应声。
「关于极紫外光源的实验验证结果,能取得这幺大突破也离不开大家,不过针对此次海外采取的措施,我们必须要重视起来才行。」
「针对国产EDA的开发,以及光刻胶研究,同样需要加快研发进程。」
徐铭早上便听说了这件事情,对于海外方面的反应速度也颇为意外,不过倒完全在预料范围之内。
毕竟海外连晶片和半导体设备都已限制,哪还用在意设计软体和光刻胶。
「这个确实要重视。」贺鹏涛闻言当即点头认可。
丁顺安则接话道:「EDA和光刻胶,都属于晶片制造产业链中,不可或缺的重要一环,如果这两项无法同步解决,就算我们成功研发出先进的极紫外光刻机,照样无法让其发挥出作用。」
徐铭因在等离激元耦合态理论上的设想,为获得稳定极紫外光源找到了新方法。
这才阴差阳错担任了总设计师。
所以最开始的目标,便是研发出极紫外光刻机。
但眼下面对当前的局势,以及两位院院士意见,不得不对后续任务安排进行调整。
「贺院和丁院说的没错。」
他先是对贺鹏涛和丁顺安的话表达了认可,接着又详细讲出自己的想法。
「目前我们已成功掌握,稳定50瓦极紫外光源,材料研究院那边正在研发多环结构光源靶盘,只要一就位随时可以开始针对250瓦商用功率展开详细验证,彻底解决极紫外光刻机的核心光源系统。」
「等到这一阶段的时候,对高端光刻机研发的压力也能小上很多。」
「至于国产EDA晶片设计软体的开发————」