第127章 郭弱:这活就不能交给我们来干吗?

第127章 郭弱:这活就不能交给我们来干吗?

在江阳说有简化技术结构的方案后。

王大严又惊又喜。

他没有丝毫怀疑。

立刻将光学系统组的全部研究人员,叫到会议室。

待人到齐。

江阳当即开始阐述新的技术思路。

他参考的。

是M帝的Kasper2001近接式光刻机。

—掩膜与硅片间隙,固定为25微米,省去精密微调系统。

机械减震,替换气浮平台。

就连光学系统的要求,也大大降低,使用200w汞灯即可。

——

但这些都不是关键。

更重要的是。

材料与工艺的要求降低,允许微米级灰尘,仅需基础洁净室。

看着侃侃而谈的江阳。

台下的王大严。

平生第一次,有了叹为观止的感觉。

虽说简化过后。

最终的效果,肯定不如原来。

但却能可以,在短时间内,迅速研制出近接式光刻机!

待会议结束。

近接式光刻机光学系统组的所有研究人员。

立刻在王大严的带领下。

开始验证工作。

而江阳也没有离开,留在实验室,参与框架的搭建。

不过。

在4个小时后。

苏筱就「友善」地提醒,他的研究时间已经用去一半。

为了兼顾其他项目。

江阳只能匆匆交代王大严几句,便离开半导体研究所。

与此同时。

一机部。

——

在经过长久的谈判后。

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