第127章 郭弱:这活就不能交给我们来干吗?
在江阳说有简化技术结构的方案后。
王大严又惊又喜。
他没有丝毫怀疑。
立刻将光学系统组的全部研究人员,叫到会议室。
待人到齐。
江阳当即开始阐述新的技术思路。
他参考的。
是M帝的Kasper2001近接式光刻机。
—掩膜与硅片间隙,固定为25微米,省去精密微调系统。
机械减震,替换气浮平台。
就连光学系统的要求,也大大降低,使用200w汞灯即可。
——
但这些都不是关键。
更重要的是。
材料与工艺的要求降低,允许微米级灰尘,仅需基础洁净室。
看着侃侃而谈的江阳。
台下的王大严。
平生第一次,有了叹为观止的感觉。
虽说简化过后。
最终的效果,肯定不如原来。
但却能可以,在短时间内,迅速研制出近接式光刻机!
待会议结束。
近接式光刻机光学系统组的所有研究人员。
立刻在王大严的带领下。
开始验证工作。
而江阳也没有离开,留在实验室,参与框架的搭建。
不过。
在4个小时后。
苏筱就「友善」地提醒,他的研究时间已经用去一半。
为了兼顾其他项目。
江阳只能匆匆交代王大严几句,便离开半导体研究所。
与此同时。
一机部。
——
在经过长久的谈判后。