「有了觉得20w次每秒能搞出来的想法?」
很快。
黄琨和林岚因就说完了她们负责部分的问题。
并且提出了一些思路。
江阳没有急着评价,而是看向王寿吾。
后者摆了摆手,道:
「黄教授和林教授说得很全面,我没什幺补充的。」
闻言,江阳颌首道:
「好,那我来说。」
「其实刚刚林教授的想法很不错。」
「我们现在的接触式光刻,缺少精密系统的辅助—.」
他一边说。
一边在身后的小黑板上写下几个关键点。
一掩膜与基片直接接触、光源简陋、手工操作。
总体上。
是根据林岚因的思路,先去分析简易光刻机的缺陷。
待江阳说完后。
林岚因立刻道:
「所以我们现在是要完成标准的接触式光刻吗?」
她在M帝时。
听说过接触式光刻的理论。
但目前来说,还没有一个很好的应用。
江阳道:
「不完全是。」
「接触式光刻其实存在个明显的缺陷。」
「近距离的物理接触,会导致掩膜的损失,大大降低寿命。」
他说完后。
林岚因、黄琨和王寿吾,陷入沉思。
不采用接触式的话。
就完全没有可以依照的理论,只能摸着石头过河。
就在这时。
江阳继续道:
「所以我们需要保留掩膜与晶圆间微小的间隙。「
「没有物理接触。」
「自然能有效地提掩膜的使用寿命。」
林岚因道:
「可是这样的话,恐怕需要更高的曝光时间。,「而且间隙控制。」
「没有够精度的调整机构,恐怕难以做到。」
江阳没有立刻回应。
而是默默地将手伸向随身的挎包。