翟达一愣:“呃如果扩大腔体,比如双托盘同时沉积,那么腔体体积更大,气体系统的湍流问题会更复杂,影响均匀性。”
虽然零帧起手就是技术问题,他回答的很快。
老师却摇摇头道:“湍流虽然难以预测,但可以干预,单纯因为湍流问题放弃效率提升,不如想想如何解决最终目标。”
“比如在扩大腔体的同步,降低长径比,可以有效减少涡流区域,同时在气体入口安装蜂窝结构导流板,即可进一步破碎大涡流。”
翟达眼睛一亮。
“另外透过现象看本质,湍流对你来说的影响在于均匀性,那如果有其他措施补偿,也未尝不能忍受,我想到两个,一个是用红外列阵的方式加热,可以提升温度均匀性,继而补偿沉积均匀性,另一个是气阀高频开关,亦可避免连续气流造成的涡旋,碳化硅功率器件应该很容易做到。”
老师可是力学大师,尤其对气体力学和热力学,都是开山鼻祖的级别。
老人家没有顺着翟达的思路思考,而是直接提出了几个全新的角度。
钱老反手拍了拍翟达的手背,语重心长的说道:
“小翟,凡是要处理复杂的事情,都要从总体上去把握,有些东西看似有害无益,但将其放在整体中思考,关注其相互作用,就能有不同的发现。”
“这种思考不会突破科学的硬性框架,但对于人类改变自然的过程,却有着极大的帮助,可以帮助一个人,跨学科、跨领域、甚至跨时代的获得支持。”
“在我看来.现在科学已经很发达了,但人类运用已知科学解决问题的能力不够发达,也就是已有体系内的利用率太低,就像眼前这个,不要去等待有人能堪破湍流的谜题,而是将其当做整体中的一个部分.也许你会发现,限制你的不是某个自然科学的原理,而是没有科学的思维,这就是系统工程”
老师的声音并不激昂,但却如黄吕大钟般,引起了翟达的共鸣。
只能说.老师不愧是老师,哪怕已经脱离一线数十年,他的智慧不单单在于某个尖端领域的突破,而更接近于一种.更本质的思考。
也许在老师眼中,这世间所有科学,也都是其眼中的一个“系统工程”。
钱老笑道:“有启发么?”
翟达点点头:“很大.如果按照您的思路探索,也许能拥有一个完全不同的路线。”
如果双衬底反应腔能解决.那“三衬底”又离得远么?